清浄度測定

当社では、フィルター交換作業を請負っており、同時に清浄度測定の実施も可能です。

目的

クリーンルーム内の空気中微粒子数を計測し、清浄度レベルが設計値に達しているかを確認致します。フィルター交換などの際、目に視えない様な僅かな隙間からのリークでも清浄度レベルが設計値に達しないことが生じる恐れがあります。
清浄度測定を実施する事で、適切な清浄度レベルの管理が可能となります。
また、フィルター交換前後における清浄度測定を実施する事により、フィルターの目詰まり度合の確認や適切な交換期間の把握・管理にも繋がります。クリーンルームには清浄度の尺度として、ISO基準1464441(JIS準拠)に空気の単位体積に含まれる粒子のサイズと数量によりクラスが定められております。

ISO14644-1:清浄度クラス基準-粒子上限数

クラス

米国連邦基準
209E相当

最大空気中粒子数/m3

≧0.1μm

≧0.2μm

≧0.3μm

≧0.5μm

≧1μm

≧5μm

ISO1

 

10

2.37

1.02

0.35

0.083

0.0029

ISO2

 

100

23.7

10.2

3.5

0.83

0.029

ISO3

クラス1

1,000

237

102

35

8.3

0.29

ISO4

クラス10

10,000

2,370

1,020

352

83

2.9

ISO5

クラス100

100,000

23,700

10,200

3,520

830

29

ISO6

クラス1,000

1.0×106

2.37×106

1.02×106

35,200

8,300

290

ISO7

クラス10,000

1.0×107

2.73×107

1.02×107

3.5×106

83,000

2.900

ISO8

クラス100,000

1.0×108

2.73×108

1.02×108

3.5×107

8.3×106

29.000

ISO9

室内クラス

1.0×109

2.73×109

1.02×109

3.5×108

8.3×107

29×106

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